精密加工法

（Precision　Machining　Processes）

2年 選択必修 後期 2単位 担当 宮本岩男

【目標】

精密機器の構成要素・部品あるいは電子部品や素子の高精度化や微小化，マイクロマシンの開発などに伴い，いわゆる機械加工法以外の加工法も重要になってきている。そこで，本講では切削加工，研削の他にも研磨，電気加工，化学加工やエネルギーピーム加工についても述べる。

【教科書】

丸井悦男著 ｢超精密加工学｣コロナ社 1997

【参考書】

中山一雄，上原邦雄共著「機械加工」朝倉書店

木本，矢野，杉田共著「マイグロ応用加工」共立出版

【成績評価方法】

定期試験，レポート

【授業計画】

  1. 精密加工総論 *** 精密加工法の分類，加工しくみ
  2. 機械加工法 ***** 機械加工と加工原理
  3. 切削加工−T *** 切削加工の特徴，切削低抗
  4. 切削加工−U *** 表面品位，寸法精度
  5. 切削加工−V *** 工具材料, 工具の摩耗
  6. 砥粒加工−T *** 研削加工
  7. 砥粒加工−U *** 研磨（ラッピング，ポリシングほか）
  8. 放電加工 ******* 加工原理，加工機械，特徴
  9. レーザーピーム加工 *** 加工原理，加工機械，特徴
  10. 電子ピーム加工 ******* 加工原理，加工機械，特徴
  11. ドライエッチング技術−T *** プラズマエッチングほか
  12. ドライエッチング技術−U *** イオンピーム加工ほか
  13. 化学加工 *** 化学エッチング，電解研磨ほか