平成11年度 研究テ−マの紹介
M2; 4名、M1; 2名、卒研生;10名
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ダイヤモンドのリアクティブイオンビ−ム援用化学加工
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超精密切削用ダイヤモンドバイトのイオンビ−ム加工
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無電解 Ni-P 基板のイオンビ−ム加工
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ダイヤモンドの集束イオンビ−ム加工
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ダイヤモンドの電子ビ−ム援用化学加工
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電子・イオンビ−ムを用いた原子間力顕微鏡用探針の加工
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電子・イオンビ−ム加工用多自由度微小移動機構の開発
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イオンビ−ム加工の分子動力学シミュレ−ション
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ダイヤモンドフィ−ルドエミッタ−の作製
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ステレオSEMに関する研究
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マイクロロボットに関する研究
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移動ロボットの通信に関する研究
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単電子トランジスタの作製（筑波、電子技術総合研究所）
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フレネルゾ−ンプレ−トの電子ビ−ム加工（同上）
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アクティブ除振台の開発
表題の示す通り、宮本研究室ではイオンビ−ムや電子ビ−ム等の荷電ビ−ム（＋や−の電荷を持つ粒子）を用いたダイヤモンドの超精密・微細加工に関する研究を主に進めている。従来、ダイヤモンドは触針やバイト等精密工具として主に用いられて来たが、ダイヤモンドは電気的にも優れた性質を有するために、短波長発光素子（バンドギャップが5.6eV）や電子エミッタ−（負の親和力）として電子デバイスの基板等にも用いられようとしている。また、当研究室は通産省工業技術院電子技術総合研究所デバイス部マイクロ加工研究室と緊密な連携のもとに研究を進めており、卒業後連携大学院方式大学院生としてマイクロ加工研究室での先端デバイスに関する研究も可能である。なお、荷電を利用した各種加工法の加工機構を解明するために、モンテカルロ法や分子動力学法（第一原理も含む）等による計算機シミュレ−ションに関する研究も行っている。
アクティブ除振台の開発は本年から開始した卒研で、ディジタル制御理論を応用し、精密機器等を載せる架台の除振をフィ−ドバックによりアクティブに制御するものである。