宮本研究室：ナノテクノロジ−、精密工学、イオンビ−ム加工

宮本研ではナノテクノロジー関連の研究を行っています。その中でも一番重要な超精密・超微細加工技術のうち、特にイオンビ−ムに関する研究を進めています。被加工物は、超低熱膨張ガラス、Si、CaF2、ダイヤモンドや超硬合金などです。この他、倉島助教を中心にナノインプリント関連の研究も進めています。なお、当研究室の大学院生が、連携大学院方式で、先端電子デバイスやナノインプリント等に関する研究を産業技術総合研究所（つくば市）で、さらに、レーザービ−ムを用いた微細加工関係の研究を理化学研究所（和光市）で行っています。

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研究室のキーワード

ナノテクノロジー、イオンビ−ム加工、ダイヤモンド、EUVLミラ−、ダイヤモンド工具、ナノインプリント、超精密金型

　　　　　　

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