谷口研究室：微細加工学
谷口研究室では，ナノテクノロジーを用いたものづくりを行っております．携帯電話やパソコンに代表される高性能・多機能製品に必要なデバイス（光学部品，反射防止構造，LSIなど）に応用できるものを作製しております．作製方法は微細な模様が作製できる電子ビーム技術，イオンビーム技術を用い，これを金型として樹脂等へ複製しております．この方法で新しいデバイスを設計，作製し動作確認をすることができます．
研究室のキーワード
ナノ構造作製，ナノテクノロジー，電子ビーム露光，ナノインプリント技術，ナノプリント，イオンビーム表面改質，反射防止構造，波長板，ホログラフィ光学素子, 100nm線幅以下のリソグラフィ
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